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110A
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1.
performing
a
plasma
nitridation
in
a
reducing
atmosphere
to
convert
the
silicon
dioxide
layer
into
a
silicon
oxynitride
layer
(
110A
)
.
在
还原
气氛
中
执行
等离子体
氮化
以
将
二氧化硅
层
转变
为
氧
氮化
硅
层
(
110A
)
。
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