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梁固频
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1.
We
calculated
the
natural frequencies
and
mode
of
vibration
for
a
five
stepped
Si-beam of Si-
piezoresistive
accelerometer
.
我们
用
该
方法
计算
了
硅
压
阻式
加速度传感器
五
阶梯
硅
梁
固
频
和
振
型
。
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